安捷倫二手ICP-ms:分(fen)析特(te)點(dian)

可(ke)快速(su)同(tong)時(shi)檢測(ce)周期表上幾(ji)乎(hu)所(suo)有元(yuan)素(su)

低檢出限(低(di)至ppq級(ji))

分(fen)析效益(yi)/成(cheng)本(ben)比

線性(xing)動(dong)態範圍(wei)寬(kuan)—可直接(jie)檢測(ce)從ppq到數(shu)百(bai)ppm濃(nong)度

譜(pu)線簡單(dan)、幹(gan)擾小，準(zhun)確度(du)和(he)精(jing)密度(du)好(hao)

需(xu)要樣品(pin)量(liang)很(hen)低(di)(ul至ml)，分(fen)析速度(du)很(hen)快(kuai)(1——3分(fen)鐘/樣品(pin))

檢測(ce)模式(shi)靈(ling)活多(duo)樣

半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)業(ye)常(chang)用材(cai)料中超(chao)痕量(liang)汙染(ran)物(wu)分(fen)析：

固體(ti)：Si;GaAa單(dan)晶(jing)切片;石(shi)英、碳(tan)化矽(gui)等爐(lu)材(cai)料;高(gao)純(chun)金(jin)屬(shu)電極等(deng)

Agilent ICP-MS可(ke)直(zhi)接(jie)分(fen)析有機(ji)樣品(pin)：

Agilent ICP-MS的高(gao)效能、高功(gong)率屏蔽矩冷(leng)等離子(zi)體(ti)技(ji)術已被(bei)用於(yu)測(ce)定壹系(xi)列(lie)有(you)機(ji)樣品(pin)的ppt級(ji)痕量(liang)汙染(ran)元(yuan)素(su)。

對其(qi)中壹(yi)些(xie)樣品(pin)，其(qi)他(ta)方法無法獲到滿意的結(jie)果，高功(gong)率屏蔽矩冷(leng)等離子(zi)體(ti)技(ji)術是種分(fen)析方法。

強堿(jian)性(xing)清(qing)洗劑——四甲(jia)基(ji)氫(qing)氧(yang)化氨(an)(TMAH)等

高(gao)基(ji)體(ti)樣品(pin)——光(guang)刻膠(jiao)、液(ye)晶(jing)、BPSG、PSG等揮(hui)發性(xing)*的清(qing)洗劑

安捷倫二手ICP-ms進(jin)樣系(xi)統

標(biao)配的進(jin)樣系(xi)統壹般(ban)是壹個霧(wu)化器和霧(wu)室，蠕(ru)動泵(beng)作為進(jin)樣動(dong)力(li)，這兩(liang)個廠(chang)家的進(jin)樣系(xi)統也都(dou)有自(zi)己的設計(ji)。

PE ELAN DRC-e標(biao)配的進(jin)樣系(xi)統是強耐(nai)腐蝕的正(zheng)交(jiao)霧(wu)化器和Ryton霧(wu)室，優點(dian)是耐高(gao)濃(nong)度的HF、堿(jian)、王(wang)水(shui)和有(you)機(ji)溶(rong)劑，缺(que)點(dian)是霧(wu)化效率低，靈(ling)敏(min)度(du)相(xiang)對要低。

Agilent 7500標(biao)配為(wei)Peltier冷(leng)卻的石(shi)英微(wei)同(tong)心霧(wu)化器和石英筒(tong)形(xing)Scott霧(wu)室，並且在進(jin)樣器(qi)上增(zeng)加了(le)HMI設計(ji)，這些(xie)進(jin)樣器(qi)的優點(dian)是霧(wu)化效率高，冷(leng)卻霧(wu)化能降(jiang)低多(duo)原(yuan)子幹擾(rao)離子(zi)的生(sheng)成(cheng)，減(jian)少(shao)取(qu)樣量(liang)的同(tong)時(shi)滿足(zu)普通(tong)進(jin)樣的耐(nai)高鹽(yan)，缺(que)點(dian)是不(bu)耐(nai)氫(qing)fu酸(suan)。

進(jin)樣系(xi)統都可(ke)拆(chai)換(huan)，兩(liang)家公(gong)司也配備(bei)了(le)多(duo)種(zhong)類型(xing)的進(jin)樣裝(zhuang)置工客戶(hu)更(geng)換(huan)。

 離子(zi)源：

ICP的裝(zhuang)置主要(yao)是由中心(xin)噴射管(guan)，矩管(guan)和(he)射(she)頻(pin)發生(sheng)器(RF線圈)組成(cheng)。PE ELAN DRC-e和(he)Agilent 7500的中心(xin)噴射管(guan)和(he)矩管(guan)都(dou)可(ke)根(gen)據(ju)用(yong)戶(hu)的實際需(xu)要(yao)更(geng)換(huan)為耐HF酸(suan)的或不(bu)耐(nai)HF酸(suan)的。至於(yu)RF線圈，PE采用 40.68 MHz激發頻(pin)率，Agilent是固態數(shu)控(kong)27.12 MHz激發頻(pin)率。

這裏(li)要提(ti)壹下，PE的炬(ju)管(guan)拆(chai)裝都(dou)比較(jiao)麻(ma)煩(fan)，XY 軸還(hai)是旋鈕手動(dong)調節(jie)，而Agilent的設計(ji)是接頭(tou)插(cha)拔，炬(ju)管(guan)拆(chai)裝比較(jiao)容(rong)易(yi)，炬(ju)管(guan)的位(wei)置都可(ke)以(yi)通過馬(ma)達(da)自動(dong)定位(wei)。

接口：

樣品(pin)通(tong)過進(jin)樣系(xi)統送入(ru)等(deng)離子(zi)體(ti)，然後(hou)以(yi)霧(wu)化的電離狀(zhuang)態到了(le)接(jie)口部分(fen)，也(ye)就是錐。這兩(liang)款(kuan)都(dou)是雙錐(zhui)設計(ji)(采樣錐(zhui)和(he)截(jie)取(qu)錐)，標(biao)配的都(dou)是鎳(nie)錐。兩(liang)家公(gong)司也都能提供(gong)鉑錐，鉑錐比鎳(nie)錐更(geng)耐腐蝕，更(geng)經用，本(ben)底(di)更(geng)小，當然更(geng)貴。兩(liang)家公(gong)司錐的不(bu)同(tong)是錐孔(kong)大小(xiao)的設計(ji)。PE的采(cai)樣錐(zhui)和(he)截(jie)取(qu)錐的孔(kong)徑分(fen)別為1.1 mm和0.9 mm，而(er)Agilent的則分(fen)別為1.0 mm和0.4 mm。我(wo)們可以(yi)看出兩(liang)家的采(cai)樣錐(zhui)的孔(kong)徑是差(cha)不(bu)多(duo)的，截(jie)取(qu)錐則大不(bu)相(xiang)同(tong)。當然，錐(zhui)大小各(ge)有(you)利弊(bi)，但我(wo)傾向於(yu)錐孔小顯然容(rong)易(yi)鹽(yan)分(fen)沈(chen)積，沈(chen)積後(hou)對(dui)錐(zhui)孔(kong)附(fu)近(jin)的進(jin)樣環(huan)境、二次(ci)電離等(deng)都有(you)較(jiao)大(da)的影(ying)響(xiang)。