二(er)手(shou)sem掃(sao)描電(dian)鏡(jing)：
日立(li)新(xin)推(tui)出的(de)高(gao)分(fen)辨(bian)場發射掃(sao)描電(dian)鏡(jing)，1kv的(de)分辨率(lv)提(ti)升(sheng)到(dao)1.3nm，並(bing)在(zai)探(tan)測(ce)器(qi)設計上有新(xin)的(de)突破(po)，配(pei)置(zhi)了Lower、Up-per和(he)Top三個(ge)Everhart-Thornley型(xing)探(tan)測(ce)器(qi)，可以(yi)接(jie)受SE、LA-BSE和(he)HA-BSE多種(zhong)信(xin)號(hao)，實(shi)現(xian)微(wei)區(qu)的形(xing)貌襯度(du)、原(yuan)子序數(shu)襯度(du)、結晶襯度(du)和(he)電(dian)位襯度(du)的(de)觀測；結合選(xuan)配(pei)的STEM探(tan)測器(qi)，還可以(yi)實現(xian)明場像和(he)暗場像的觀測；此(ci)外(wai)在(zai)半(ban)導體(ti)應用中(zhong)，還可以(yi)安(an)裝EBIC探(tan)測(ce)器，采(cai)集感(gan)生電(dian)流圖像，極(ji)大豐富了信(xin)號(hao)的采(cai)集，對樣(yang)品的信息的(de)收(shou)集達(da)到(dao)了新(xin)的(de)高(gao)度(du)。

應用領域(yu)：

主(zhu)要用於(yu)生物(wu)體(ti)、高(gao)分(fen)子(zi)、無機非金(jin)屬(shu)、金(jin)屬(shu)材(cai)料等(deng)樣(yang)品的表(biao)面(mian)形(xing)貌(mao)觀察(cha)及(ji)元素(su)成(cheng)分分(fen)析。廣(guang)泛應用於(yu)生物(wu)、能源(yuan)、材(cai)料、化(hua)工(gong)、環(huan)境(jing)等(deng)研(yan)究領(ling)域(yu)。

儀(yi)器主要(yao)配(pei)置(zhi)：

X射線(xian)能譜(pu)儀，離子濺(jian)射儀，真空(kong)蒸(zheng)鍍(du)儀，冷凍幹(gan)燥機。

主要(yao)性(xing)能指標(biao)：

1. 二(er)次(ci)電(dian)子分(fen)辨率(lv)：1.4nm（1kV，減(jian)速模式(shi)）；1nm（15kV）

2. 電(dian)子槍：冷場發射電(dian)子源(yuan)

3. 加(jia)速電(dian)壓(ya)：0.5 ～ 30 kV

4. 放(fang)大倍數(shu)：×20 ～ ×800,000

5. 探測器：低位(wei)/高(gao)位(wei)二(er)次電(dian)子探(tan)測器

二手(shou)sem掃(sao)描電(dian)鏡(jing)

描(miao)電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡(jing)的(de)制(zhi)造是依(yi)據(ju)電(dian)子與(yu)物質的相(xiang)互作用。當壹(yi)束高(gao)能的入射電(dian)子轟(hong)擊(ji)物(wu)質(zhi)表(biao)面(mian)時(shi)，被激(ji)發的(de)區(qu)域將(jiang)產生二(er)次電(dian)子、俄(e)歇電(dian)子、特(te)征x射線(xian)和(he)連續(xu)譜(pu)X射線(xian)、背散(san)射電(dian)子、透(tou)射電(dian)子，以(yi)及在(zai)可(ke)見(jian)、紫(zi)外(wai)、紅(hong)外(wai)光區(qu)域產(chan)生的(de)電(dian)磁輻射。同(tong)時(shi)，也(ye)可產生電(dian)子-空(kong)穴對、晶(jing)格(ge)振動(dong) （聲子）、電(dian)子振蕩(dang) （等離(li)子(zi)體(ti)）。原則上(shang)講(jiang)，利用電(dian)子和(he)物質(zhi)的相(xiang)互作用，可以(yi)獲(huo)取(qu)被(bei)測樣(yang)品本身的(de)各種(zhong)物(wu)理、化學性(xing)質(zhi)的(de)信(xin)息，如形貌、組(zu)成(cheng)、晶體(ti)結構、電(dian)子結構和(he)內部電(dian)場或磁場等等。

掃(sao)描電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡(jing)正(zheng)是根(gen)據(ju)上述不(bu)同(tong)信(xin)息(xi)產生的(de)機理，采用不(bu)同(tong)的(de)信(xin)息檢(jian)測器(qi)，使選(xuan)擇檢(jian)測得以(yi)實現(xian)。如(ru)對二(er)次電(dian)子、背散(san)射電(dian)子的(de)采集，可(ke)得到(dao)有關(guan)物(wu)質微(wei)觀形貌(mao)的(de)信息;對x射線(xian)的采集，可(ke)得到(dao)物(wu)質(zhi)化(hua)學成(cheng)分的(de)信息。正(zheng)因(yin)如此(ci)，根(gen)據(ju)不(bu)同(tong)需求，可制(zhi)造出功(gong)能配(pei)置(zhi)不(bu)同(tong)的(de)掃(sao)描電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡(jing)。

掃(sao)描電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡(jing)是(shi)1965年發明的較(jiao)現(xian)代(dai)的(de)細(xi)胞生物(wu)學研究工(gong)具，主(zhu)要是利用二次(ci)電(dian)子信(xin)號成(cheng)像來(lai)觀察(cha)樣(yang)品(pin)的(de)表(biao)面(mian)形(xing)態(tai)，即用極(ji)狹窄的電(dian)子束(shu)去掃(sao)描樣品，通過電(dian)子束(shu)與樣品的相(xiang)互作用產生各種(zhong)效(xiao)應，其(qi)中(zhong)主(zhu)要是樣品(pin)的(de)二(er)次電(dian)子發(fa)射。二次(ci)電(dian)子能夠(gou)產生樣(yang)品表(biao)面(mian)放(fang)大的形(xing)貌像，這個(ge)像是(shi)在(zai)樣(yang)品(pin)被(bei)掃(sao)描時(shi)按時(shi)序建立(li)起(qi)來(lai)的，即(ji)使用逐(zhu)點成(cheng)像的(de)方法獲(huo)得放(fang)大像。