（2手）掃(sao)描電(dian)鏡SEM+EDX操作窗口(kou)

直(zhi)觀(guan)的(de)操作界面的(de)設(she)計(ji)，簡(jian)明(ming)易(yi)懂(dong)便(bian)於(yu)迅(xun)速掌握操作。

日本JEOL掃(sao)描(miao)電(dian)子顯微(wei)鏡JSM-6510（SEM)支(zhi)持多(duo)用戶(hu)

單(dan)個(ge)用戶(hu)可(ke)以根據常用功(gong)能(neng)設置相(xiang)應(ying)的(de)圖(tu)標(biao)，營造(zao)快(kuai)捷的(de)操作環境(jing)。用戶(hu)登錄(lu)時(shi)，即(ji)可(ke)加(jia)載(zai)已(yi)註冊(ce)過的(de)設(she)定(ding)。

日(ri)本JEOL掃(sao)描(miao)電(dian)子顯微(wei)鏡JSM-6510（SEM)同時(shi)顯(xian)示兩(liang)幅(fu)圖(tu)像(xiang)

畫(hua)面上(shang)並(bing)列顯(xian)示(shi)二次(ci)電(dian)子成(cheng)像和(he)背散(san)射電(dian)子成(cheng)像這兩(liang)種實(shi)時(shi)圖(tu)像(xiang)。可(ke)同時(shi)觀(guan)察樣(yang)品的(de)形(xing)貌和(he)組(zu)成(cheng)分(fen)布(bu)。

日(ri)本JEOL掃(sao)描(miao)電(dian)子顯微(wei)鏡JSM-6510（SEM)維護簡(jian)便

工(gong)廠(chang)預(yu)置中心(xin)燈絲，十(shi)分(fen)便(bian)於(yu)更(geng)換(huan)。因此(ci)，可(ke)長(chang)期保(bao)持穩(wen)定(ding)的(de)高(gao)性能(neng)。此(ci)外，操作界面還能(neng)以映像(xiang)形(xing)式顯示燈絲維(wei)護的(de)步(bu)驟(zhou)說(shuo)明(ming)。

日(ri)本JEOL掃(sao)描(miao)電(dian)子顯微(wei)鏡JSM-6510（SEM)可(ke)信賴(lai)的(de)真(zhen)空系統

真(zhen)空系統使(shi)用(yong)高(gao)性能(neng)的(de)擴(kuo)散(san)泵(beng)保(bao)證了潔(jie)凈的(de)高(gao)真(zhen)空狀態(tai)。擴(kuo)散(san)泵(beng)內(nei)部無活(huo)動部件(jian)，體現了(le)操作穩(wen)定(ding)，維(wei)護簡(jian)便的(de)特(te)色(se)。

（2手(shou)）掃描(miao)電(dian)鏡SEM+EDX:技術(shu)參數(shu)

分(fen)辨(bian)率(lv) 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
放大(da)倍(bei)數(shu) 5至300,000x
加(jia)速電(dian)壓 0.5kV至(zhi)30kV
電(dian)子槍 工(gong)廠預(yu)對中燈絲
聚(ju)光(guang)鏡 變焦聚(ju)光(guang)鏡
物鏡 錐形(xing)物鏡
樣(yang)品臺 全對(dui)中樣(yang)品臺
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋(xuan)轉(zhuan) 360°
傾斜(xie) －10°至(zhi)＋90°
排(pai)氣系統
（高(gao)真(zhen)空模(mo)式） DPx1，RPx1
排(pai)氣系統
（低真(zhen)空模(mo)式） DPx1，RPx2

掃描電(dian)子顯微(wei)鏡主(zhu)要(yao)特(te)點

　　1.強(qiang)大的(de)電(dian)子光(guang)學系統，簡(jian)單(dan)操作

　　I　設計的(de)超(chao)級(ji)圓錐型(xing)物鏡，保(bao)證3nm的(de)分(fen)辨(bian)率(lv)。很(hen)容易(yi)得(de)到高(gao)質量照片(pian)。

　　II　廣域掃(sao)描(miao)線(xian)圈(quan)可(ke)以得(de)到低5倍的(de)放大(da)倍(bei)數(shu)從而(er)提(ti)高(gao)觀(guan)察樣(yang)品的(de)效(xiao)率(lv)。

　　III　電(dian)子光(guang)學系統可(ke)以在(zai)大束流下(xia)形(xing)成(cheng)小束斑(ban)，有(you)利於微(wei)區分(fen)析(xi)。

　　2.高(gao)分(fen)辨(bian)率(lv)

　　I　JSM6510系列超(chao)級(ji)圓錐形(xing)物鏡，在(zai)工作距離8mm時(shi)的(de)分(fen)辨(bian)率(lv)為3nm，超級(ji)圓錐形(xing)物鏡

　　2的(de)外(wai)形(xing)設計可(ke)以做(zuo)到短(duan)工作(zuo)距離情況下(xia)樣(yang)品仍然(ran)可(ke)以大(da)角(jiao)度傾斜(xie)。

　　3.全(quan)自動(dong)電(dian)子槍

　　2　I　JEOL開(kai)發(fa)的(de)全(quan)自(zi)動(dong)電(dian)子槍能(neng)夠(gou)產生極小電(dian)子束源，只(zhi)要選(xuan)擇好加(jia)速電(dian)壓，就可(ke)以進(jin)行觀察(cha)或(huo)成(cheng)分(fen)分(fen)析(xi)。

　　II　電(dian)子槍偏(pian)壓是(shi)調節電(dian)子槍亮度的(de)重(zhong)要部(bu)件(jian)。JEOL的(de)無縫(feng)自給(gei)加(jia)壓系統能(neng)隨(sui)著(zhe)電(dian)壓變化(hua)隨(sui)時(shi)調整偏(pian)壓，使(shi)得(de)無論(lun)選(xuan)擇哪個(ge)加(jia)速電(dian)壓，都能(neng)得(de)到亮度。

　　III　JEOL*的(de)像(xiang)散(san)記憶功能(neng)能(neng)夠(gou)自動(dong)糾正(zheng)隨(sui)加(jia)速電(dian)壓或(huo)工(gong)作距離改變而(er)產生的(de)像(xiang)散(san)。

　　1KV　5KV

　　10KV　20KV

　　4.多(duo)圖(tu)顯(xian)示模(mo)式

　　3　I　主(zhu)顯(xian)示區可(ke)以同(tong)時(shi)顯(xian)示兩(liang)幅(fu)實(shi)時(shi)圖(tu)像(xiang)，分(fen)別為二次(ci)電(dian)子像和(he)背散(san)射電(dian)子像，參考(kao)區(qu)也可(ke)顯示(shi)2幅(fu)實(shi)時(shi)圖(tu)像(xiang)，例如二次(ci)電(dian)子圖(tu)像(xiang)，背散(san)射電(dian)子圖(tu)像(xiang)或CCD相機圖(tu)像(xiang)。

　　II　雙(shuang)實時(shi)顯(xian)示模(mo)式可(ke)以用(yong)於不同信號圖(tu)像(xiang)的(de)對(dui)比，用(yong)戶可(ke)在(zai)觀察表面(mian)形(xing)貌的(de)同(tong)時(shi)了(le)解(jie)樣(yang)品的(de)成(cheng)份分(fen)布(bu)情(qing)況。

　　III　選(xuan)用(yong)多(duo)種圖(tu)像(xiang)顯示模(mo)式時(shi)，點擊(ji)“PHOTO"按紐可(ke)同時(shi)獲(huo)得(de)並(bing)存(cun)儲(chu)2或(huo)3幅(fu)全(quan)屏尺(chi)度圖(tu)像(xiang)。

　　5.簡(jian)單(dan)易(yi)懂的(de)操作接口(kou)及菜單(dan)

　　I　操作接口(kou)簡(jian)單(dan)，直(zhi)觀(guan)，默(mo)認的(de)操作接口(kou)顯示(shi)了常用的(de)功(gong)能(neng)按鈕，並(bing)以(yi)簡(jian)單(dan)圖(tu)文(wen)標(biao)明(ming)，點擊(ji)鼠標(biao)即(ji)可(ke)操作所(suo)有(you)功(gong)能(neng)。

　　II　實時(shi)量測，圖(tu)片(pian)上的(de)長(chang)度和(he)角(jiao)度等(deng)結(jie)構細(xi)節(jie)能(neng)在(zai)顯示器上(shang)進(jin)行測量。

　　6.可(ke)變焦聚(ju)光(guang)鏡修正(zheng)

　　I　做(zuo)表面(mian)觀察(cha)和(he)元(yuan)素分(fen)析(xi)等(deng)不(bu)同(tong)應(ying)用時(shi)，選(xuan)擇合適(shi)束流非常重(zhong)要，壹(yi)般(ban)是(shi)通(tong)過聚(ju)光(guang)鏡與(yu)物鏡光(guang)闌來控(kong)制(zhi)電(dian)子束流的(de)。如(ru)果(guo)在(zai)調整束流過(guo)程中，焦(jiao)點和(he)觀(guan)察(cha)區(qu)域位(wei)移(yi)變化(hua)很(hen)小，調整起來(lai)會比較(jiao)方(fang)便(bian)。JEOL*的(de)可(ke)變焦聚(ju)光(guang)鏡可(ke)以保(bao)證這壹(yi)點。