主要(yao)功能(neng)及(ji)技術指(zhi)標(biao)

二(er)手(shou)日立(li)噴(pen)金(jin)儀主要(yao)功能(neng)：

1. 二(er)次(ci)電子形貌（SEI）：對(dui)試(shi)樣(yang)進(jin)行表面形貌觀察(cha)分析；2. 背反(fan)射成(cheng)分像/形(xing)貌像(xiang)（BEI）：對(dui)試(shi)樣(yang)進(jin)行更(geng)深壹(yi)層的(de)形貌觀察(cha)，並(bing)得(de)到原(yuan)子序數襯(chen)度(du)；3. 元(yuan)素(su)的(de)定性(xing)定量分析（EDX）：結合(he)X射線能(neng)譜(pu)儀對試(shi)樣(yang)表面某(mou)區(qu)域(yu)或某(mou)點(dian)進(jin)行成(cheng)分定性(xing)和定量分析；4. 圖(tu)像分析處(chu)理系統（IPS）：根(gen)據(ju)所得圖像，對(dui)試(shi)樣(yang)進(jin)行粒度(du)、孔徑大(da)小(xiao)、氣(qi)孔分布等進行分析。

主(zhu)要(yao)技術指(zhi)標(biao)：HORIBA EX-250型(xing)能(neng)譜儀。分析元(yuan)素範圍：Be4～U92號(hao)元(yuan)素(su)。

（1）分辨(bian)率：1.0nm (15kV)；1.0nm (1kV)

（2）加速(su)電壓：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步(bu)

（3）放(fang)大(da)倍(bei)率：×20 ~ ×800,000

（4）束(shu)流(liu)強(qiang)度(du)：1pA～2nA

（5）樣(yang)品(pin)室(shi)和(he)樣(yang)品(pin)臺(tai)：樣(yang)品(pin)臺(tai)驅(qu)動(dong)：3軸(zhou)馬達驅動；移動(dong)範圍：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~+70°；R：360°；樣(yang)品(pin)尺寸：100mm

（6）

其(qi)它備註(zhu)

1. 主機(ji)(包括(kuo)電子光學系統；氣(qi)閥(fa)自動調節(jie)真空(kong)系統，配(pei)備(bei)三臺(tai)離子泵、壹(yi)臺渦(wo)輪分子泵、壹(yi)臺機(ji)械泵；高(gao)位/低位二(er)次(ci)電子檢測器(qi)；3軸(zhou)馬達驅動I型(xing)樣(yang)品(pin)臺(tai)。

2. 自動變壓器(qi)。

3. 冷(leng)卻循環水系統。

4. HORIBA EX-250型(xing)能(neng)譜儀。

5. 日立(li) E-1010型(xing)離(li)子濺(jian)射儀。