二手(shou)JEOL場發射電(dian)鏡(jing)7001F日本電(dian)子熱場發射掃描電(dian)鏡(jing)JSM-7001F（Thermal Field Emission SEM）是(shi)能(neng)夠(gou)滿(man)足與高(gao)分(fen)辨率和(he)易用(yong)性同樣(yang)的(de)分(fen)析應用(yong)需求的(de)理想(xiang)平臺(tai)。JSM-7001F具有大型、5軸(zhou)、全(quan)對中馬達驅(qu)動自動(dong)化(hua)樣品(pin)臺(tai),還有(you)單(dan)動作(zuo)樣品更換(huan)氣(qi)鎖(suo)、它的(de)小(xiao)束(shu)口(kou)壓直徑，即(ji)使(shi)在(zai)大(da)電(dian)流(liu)和(he)低電(dian)壓時，也具有適用(yong)於(yu)EDS、WDS、EBSP和(he)CL的(de)理想(xiang)結(jie)構的(de)擴充(chong)性。樣品(pin)室可(ke)處理直徑最(zui)大(da)為(wei)200mm的(de)樣品(pin)。

計算(suan)機(ji)接(jie)口(kou)是(shi)新(xin)的(de)Windows® XP系(xi)統(tong)，操(cao)作簡(jian)單(dan)，具有快(kuai)速(su)簡(jian)單(dan)地(di)切換(huan)操(cao)作模(mo)式(shi)的(de)功能(neng)鍵(jian)。最(zui)多可(ke)同時查看(kan)包(bao)括(kuo)混(hun)合信號的(de)四幅(fu)實時圖像，單(dan)次(ci)掃(sao)描(miao)就(jiu)可(ke)以(yi)記(ji)錄並馬上存(cun)儲全(quan)部(bu)的(de)四幅(fu)圖(tu)像。

JSM-7001F掃(sao)描(miao)電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡(jing)還支持與(yu)EDS、WDS、電(dian)子束(shu)光(guang)刻(ke)系(xi)統(tong)和(he)圖像數(shu)據庫的(de)整體(ti)化(hua)。標準(zhun)的(de)樣品(pin)臺(tai)自動(dong)化(hua)由計算(suan)機(ji)控制5軸：X、Y、Z、傾斜(xie)和(he)對中自轉。

低真空(kong)操(cao)作

JSM-7001FLV場發射掃描電(dian)子顯(xian)微(wei)鏡(jing)具有高(gao)分(fen)辨率性能(neng)，可(ke)以(yi)在(zai)中至高(gao)電(dian)壓千伏(fu)（kV）和(he)更高(gao)的(de)束(shu)流(liu)下對非導(dao)電(dian)樣(yang)品進行(xing)成像。因(yin)此無(wu)需在(zai)樣(yang)品上鍍金(jin)屬(shu)膜(mo)或碳(tan)膜(mo)以(yi)供(gong)導(dao)電(dian)，即(ji)可(ke)施用(yong)EDS、背(bei)散(san)射成像、EBSD等(deng)分(fen)析技(ji)術。這在(zai)以(yi)下情(qing)況中特別有用(yong): 樣(yang)品不能(neng)修改時，尚需後(hou)續測(ce)試(shi)時，或尚需返(fan)回產品(pin)線(xian)時。

低真空(kong)模(mo)式(shi)規(gui)格

樣品(pin)室壓力(li)：最(zui)大(da)50 Pa

分(fen)辨率：3.0nm（30kV）(BEI)

槍室壓力(li)：5 x 10-7 Pa或(huo)更小(xiao)

采(cai)用(yong)的(de)氣體(ti)：幹(gan)燥氮(dan)氣

二(er)手JEOL場發射電(dian)鏡(jing)7001F儀(yi)器參(can)數(shu):

二次(ci)電(dian)子分(fen)辨率: 1.4nm (1 kV，減(jian)速模(mo)式(shi))
1.0nm (15kV)
電(dian)子光(guang)學：
電(dian)子槍(qiang): 冷(leng)場發射電(dian)子源(yuan)
加速電(dian)壓: 0.5~30kV(0.1KV/步(bu)，可(ke)變(bian))
放大倍率: x 20~ x 800,000
物鏡光(guang)闌(lan): 4孔(kong)，真空(kong)外選擇(ze)和(he)調校(內(nei)置(zhi)加熱器(qi))
檢(jian)測(ce)器(qi): 二(er)次(ci)電(dian)子檢(jian)測(ce)器(qi) (高(gao)位/低位)
背(bei)散(san)射電(dian)子檢(jian)測(ce)器(qi)(可(ke)選)
EDX(可(ke)選)
透射電(dian)子檢(jian)測(ce)器(qi)(可(ke)選)
法(fa)拉第(di)杯(bei)(可(ke)選)
陰(yin)極(ji)熒(ying)光(guang)檢(jian)測(ce)器(qi)(可(ke)選)
樣(yang)品(pin)臺(tai): l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驅(qu)動:手(shou)動(可(ke)選3軸(zhou)驅(qu)動(dong))
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驅動(dong):PC機控制5軸驅動
圖(tu)像顯(xian)示:
操(cao)作/顯(xian)示: PC/AT 兼容(rong),
操(cao)作系(xi)統(tong)： WindowsTM 2000
18.1" 平(ping)面(mian)顯(xian)示器
掃(sao)描(miao)模(mo)式(shi): 標準(zhun)，Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
畫面儲存(cun): 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840

圖像編(bian)輯: 內置(zhi)圖像處理軟(ruan)件和(he)圖像編(bian)輯軟件
圖像文(wen)件(jian)格式(shi): BMP, TIFF, JPEG
掃(sao)描速度(du): TV, 慢(man)速(su) (0.5 ~ 40 s/幀) 用(yong)於(yu)觀察(cha)
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用(yong)於(yu)記錄
成像過(guo)程(cheng): 自動(dong)調節(jie)亮(liang)度(du)和(he)對比度(du)
光(guang)柵旋(xuan)轉，自動(dong)聚焦，自動(dong)像散(san)校(xiao)正(zheng)，
平(ping)均(jun)，幀積(ji)分(fen)，偽彩(cai)色顯(xian)示
自動(dong)數(shu)據記(ji)錄(lu): 膠卷(juan)號，加速電(dian)壓，微米(mi)標尺，放大
倍率，日期，時間，工(gong)作(zuo)距離(li)
電(dian)子圖(tu)像移動: ±12u( W.D. = 8 mm)
真空(kong)系(xi)統(tong): *氣(qi)閥(fa)自動(dong)調節(jie)
離(li)子泵(beng) 3 臺(tai)
渦(wo)輪(lun)分(fen)子泵(beng)(磁(ci)浮(fu)型) 1 臺(tai)
機械(xie)泵 1 臺(tai)