掃描(miao)電(dian)子(zi)顯(xian)微(wei)鏡(jing)儀(yi)器(qi)維(wei)護(hu)方(fang)法

掃描(miao)電(dian)子(zi)顯(xian)微(wei)鏡(jing)（SEM）的維護(hu)需重(zhong)點(dian)關(guan)註電子(zi)光(guang)學(xue)系統(tong)、真空(kong)系統(tong)、探測(ce)器(qi)及樣(yang)品(pin)室(shi)等(deng)關(guan)鍵部(bu)件的保養(yang)。以(yi)下是(shi)具體(ti)維(wei)護(hu)方(fang)法

電(dian)子(zi)光(guang)學(xue)系統(tong)維護(hu)

1：燈絲(si)更換‌：鎢(wu)燈(deng)絲壽命約100-200小(xiao)時(shi)，場(chang)發(fa)射(she)槍(qiang)燈絲(si)壽命約1000-2000小(xiao)時(shi)，需定期檢(jian)查電流穩(wen)定性並按時(shi)更換。 ‌

2：電(dian)磁透鏡(jing)維護(hu)‌：確保(bao)電源穩定並避(bi)免(mian)外(wai)部(bu)磁場幹擾，定期檢(jian)查電流穩(wen)定性和(he)磁場強度(du)。 ‌‌

真空(kong)系統(tong)維護(hu)

1.泵油檢(jian)查‌：機(ji)械泵油每(mei)6個月更換，分(fen)子(zi)泵潤滑(hua)脂每(mei)年(nian)更換，日(ri)常需監(jian)測(ce)油位和(he)泵效(xiao)。 ‌

2.真空(kong)度(du)校(xiao)準(zhun)‌：長期(qi)未用需啟(qi)動真空(kong)泵逐步(bu)提升(sheng)真空(kong)度(du)至10⁻⁴~10⁻⁶ Pa，並監測(ce)真空(kong)曲(qu)線(xian)變化(hua)。 ‌

探(tan)測(ce)器(qi)維(wei)護(hu)

1：清潔(jie)與校(xiao)準(zhun)‌：二次電(dian)子(zi)探(tan)測(ce)器(qi)和(he)背(bei)散(san)射(she)探(tan)測(ce)器(qi)需用(yong)氮(dan)氣或(huo)軟毛刷(shua)除塵(chen)，每(mei)月通過(guo)標準(zhun)樣(yang)品(pin)校(xiao)準(zhun)靈敏(min)度(du)。 ‌

樣(yang)品(pin)室(shi)維(wei)護(hu)

1：日(ri)常清潔(jie)‌：每(mei)次實(shi)驗後(hou)用(yong)無(wu)塵(chen)紙或(huo)酒精(jing)擦(ca)拭(shi)樣(yang)品(pin)臺(tai)、探頭(tou)及腔(qiang)體(ti)內(nei)壁(bi)，禁(jin)用(yong)有(you)機(ji)溶劑。 ‌

2：深度(du)清潔(jie)‌：每(mei)月用超(chao)聲(sheng)波(bo)清洗可(ke)拆(chai)卸(xie)部(bu)件，氮氣吹幹(gan)後重(zhong)新(xin)安(an)裝並測(ce)試運(yun)動精度(du)。 ‌

環境控制

1：溫濕度(du)‌：實(shi)驗室(shi)溫度(du)保(bao)持18~25℃，濕度(du)≤60%，避(bi)免(mian)設備受(shou)潮或(huo)過(guo)熱(re)。 ‌

2：防(fang)塵(chen)防(fang)震‌：設備需置(zhi)於防(fang)震臺(tai)上，遠(yuan)離門窗和(he)熱(re)源，配(pei)備HEPA濾網。 ‌

長期(qi)未(wei)用呵護(hu)

每(mei)周通電初始化控制系統(tong)並觀察指(zhi)示燈(deng)狀(zhuang)態(tai)

啟動真空(kong)泵運行8小(xiao)時(shi)並監測(ce)真空(kong)曲(qu)線(xian)

重新(xin)安(an)裝燈絲(si)並進行老化(hua)校(xiao)準(zhun) ‌