1.1 日(ri)常管(guan)理(li)

     大(da)型(xing)精密儀(yi)器設(she)備是(shi)從(cong)事教學和(he)科研(yan)活動的重要工具，其中(zhong)場發射掃(sao)描(miao)電(dian)鏡屬於(yu)大(da)型(xing)精密儀(yi)器中(zhong)的(de)精密貴重(zhong)儀(yi)器，其陰(yin)極制(zhi)造工藝(yi)復雜(za)，價(jia)格(ge)昂(ang)貴，需(xu)要(yao)在(zai)高(gao)真空度(du)下才(cai)能穩(wen)定(ding)工作。如果(guo)真空度(du)降低，會導致(zhi)陰(yin)極氧(yang)化加(jia)快(kuai)，因此(ci)設(she)備需(xu)要常年保持開啟(qi)狀(zhuang)態(tai)，以(yi)保證(zheng)鏡筒(tong)內的(de)真空度(du)維持在(zai)10-7Pa量(liang)級以(yi)上(shang)。此外(wai)，場發射掃(sao)描(miao)電(dian)鏡均(jun)需(xu)配(pei)備(bei)不間(jian)斷電(dian)源(UPS)，UPS可以保(bao)證(zheng)設(she)備在(zai)市電(dian)中(zhong)斷時(shi)仍(reng)能(neng)繼續(xu)運(yun)行，避(bi)免設(she)備在(zai)突(tu)然斷電(dian)時關(guan)閉，造成(cheng)損(sun)傷(shang)等(deng)問題(ti)。

      在(zai)場發射掃(sao)描(miao)電(dian)鏡的日(ri)常維護(hu)中(zhong)，操(cao)作人員應(ying)定(ding)期檢查儀(yi)器設(she)備的(de)工作環(huan)境(jing)、光學系(xi)統(tong)、真空系(xi)統(tong)及(ji)附(fu)件(jian)設(she)施(shi)，確(que)保(bao)儀(yi)器(qi)處在(zai)最(zui)佳(jia)工作狀(zhuang)態(tai)。設(she)備每(mei)兩個(ge)月需要(yao)進行壹(yi)次(ci)重新啟(qi)動，使(shi)電(dian)腦及(ji)電(dian)鏡器件重新開(kai)啟壹(yi)次，避(bi)免設(she)備出現卡頓、不順暢(chang)等狀(zhuang)況(kuang)，保(bao)證(zheng)設(she)備正常運(yun)行(xing)。

     在(zai)日(ri)常使(shi)用過(guo)程中(zhong)，電(dian)鏡的電(dian)子(zi)光路系(xi)統(tong)會逐漸(jian)發(fa)生(sheng)偏移。改(gai)變測(ce)試(shi)電(dian)壓(ya)後(hou)，電(dian)子(zi)束(shu)方(fang)向(xiang)會出現較(jiao)大(da)的(de)偏移；電(dian)子(zi)束(shu)偏離鏡(jing)筒(tong)中(zhong)心時，在(zai)較(jiao)大(da)束(shu)斑下無法成(cheng)像(xiang)。因(yin)此(ci)，在(zai)使(shi)用壹(yi)段時間(jian)後，需(xu)要按照(zhao)操(cao)作說(shuo)明書(shu)對儀器進行定(ding)期校準(zhun)，其中(zhong)包(bao)括(kuo)光路(lu)對中(zhong)、偏移校(xiao)正、試(shi)樣(yang)臺(tai)移(yi)動校(xiao)準(zhun)等(deng)校準(zhun)方法，通(tong)過(guo)校(xiao)準使(shi)設(she)備維持良好(hao)的(de)運(yun)行(xing)狀態(tai)。如果(guo)自(zi)行校(xiao)準無法完(wan)成(cheng)光(guang)路(lu)對中(zhong)，則(ze)需要進行機(ji)械對中(zhong)，此(ci)項工作技(ji)術難度(du)較高，通(tong)常需(xu)要(yao)工程(cheng)師上(shang)門才(cai)能完(wan)成(cheng)。

      需(xu)特(te)別指(zhi)出的是(shi)，由於(yu)學校(xiao)寒(han)暑(shu)假(jia)時間(jian)較長(chang)，掃(sao)描(miao)電(dian)鏡管(guan)理(li)員應(ying)及(ji)時(shi)關(guan)註學校(xiao)停電(dian)消(xiao)息(xi)。如假期期(qi)間(jian)遇到(dao)停電(dian)情(qing)況(kuang)，需(xu)根(gen)據(ju)停電(dian)時間(jian)長短(duan)對電(dian)鏡進行不同方式處(chu)理(li)。若停電(dian)時長在(zai)24h以(yi)內(nei)，可以采取(qu)破(po)真空後(hou)，依次在(zai)操(cao)控(kong)電(dian)腦界面上(shang)左(zuo)鍵(jian)點(dian)擊“STOP"，最(zui)後點(dian)擊“standby"，使(shi)設(she)備處(chu)於(yu)待(dai)機(ji)狀(zhuang)態(tai)即(ji)可，采取(qu)該(gai)措(cuo)施(shi)後，電(dian)鏡配備的UPS可以維持設(she)備運(yun)行。如果(guo)停電(dian)時間(jian)超(chao)過24h，則(ze)需(xu)要將設(she)備關(guan)閉，待來(lai)電(dian)後重新開機。

1.2 附(fu)件維護(hu)保(bao)養(yang)

1.2.1 配套(tao)冷(leng)卻(que)循環(huan)系統(tong)

     循環(huan)冷(leng)卻(que)循環(huan)系統(tong)主要用於(yu)電(dian)鏡內部器件的(de)降溫(wen)，其工作原理是(shi)通過低溫(wen)水在(zai)體系(xi)內(nei)循環(huan)將設(she)備部(bu)件產生(sheng)的熱(re)量(liang)帶走(zou)，從(cong)而保(bao)證(zheng)設(she)備在(zai)較(jiao)低的溫(wen)度(du)下穩(wen)定(ding)運行，冷(leng)卻(que)水的(de)恒溫(wen)循環(huan)對設(she)備的(de)穩(wen)定(ding)性(xing)、可靠性(xing)起著重(zhong)要作用。循環(huan)水應(ying)使(shi)用純(chun)水(shui)，以減(jian)少(shao)水(shui)中(zhong)雜(za)質(zhi)的產生(sheng)，同時需要(yao)定(ding)期關(guan)註水位(wei)及(ji)水(shui)質(zhi)情(qing)況(kuang)，如果(guo)水(shui)位下降，要(yao)及(ji)時(shi)進行補(bu)加(jia)，如果(guo)水(shui)質出現結(jie)垢(gou)或者渾濁，需(xu)要(yao)及(ji)時(shi)清(qing)洗(xi)更(geng)換(huan)循環(huan)水，建(jian)議(yi)每(mei)年更換(huan)壹次(ci)循環(huan)水。設(she)備前(qian)面板下部的(de)散(san)熱(re)片及(ji)風(feng)扇(shan)需(xu)要(yao)定(ding)期進行灰塵(chen)清(qing)理，以(yi)避免孔(kong)道堵(du)塞，影響(xiang)設(she)備運(yun)行。

1.2.2 空(kong)氣(qi)壓(ya)縮機

      空(kong)氣(qi)壓(ya)縮機可以控(kong)制電(dian)鏡的氣(qi)動(dong)閥(fa)門(men)，並為(wei)減震系(xi)統提(ti)供壓(ya)縮空氣(qi)，隨(sui)著空(kong)氣(qi)壓(ya)縮機的(de)使(shi)用時(shi)間(jian)不斷延(yan)長(chang)，其內部的(de)機(ji)油(you)會出現損(sun)耗，壹旦機油(you)液(ye)面過低，需要(yao)及(ji)時(shi)進行補(bu)加(jia)。在(zai)工作過(guo)程(cheng)中(zhong)，空(kong)氣(qi)壓(ya)縮機吸(xi)入(ru)了(le)含有(you)部(bu)分(fen)水(shui)分(fen)的(de)空(kong)氣(qi)，水(shui)分(fen)進入到(dao)機(ji)組(zu)內(nei)部(bu)，伴隨(sui)機組(zu)壹(yi)系(xi)列運作最(zui)終會析出為冷(leng)凝(ning)水，如果(guo)冷(leng)凝(ning)水不及(ji)時(shi)排(pai)出，會導致(zhi)機組(zu)內(nei)部(bu)發生銹(xiu)蝕(shi)，加(jia)速潤(run)滑(hua)油(you)乳化(hua)並造成(cheng)潤(run)滑(hua)油(you)特(te)性(xing)降低，影響(xiang)機組(zu)運(yun)轉，所(suo)以每(mei)周需(xu)要通過排(pai)水(shui)閥排出冷(leng)凝(ning)水。

1.2.3 機(ji)械泵

     機械泵需要長時(shi)間(jian)連續(xu)工作，以(yi)保(bao)證(zheng)試(shi)樣(yang)倉維持高真空狀(zhuang)態(tai)。內(nei)部的塑料(liao)密封(feng)墊圈(quan)屬於(yu)損(sun)耗(hao)件(jian)，在(zai)長(chang)期(qi)使(shi)用過(guo)程中(zhong)會出現磨(mo)損、老化，因此(ci)需(xu)要定(ding)期進行更(geng)換(huan)。原則上(shang)每(mei)年需要(yao)聯系工程(cheng)師對密封(feng)圈(quan)進行更(geng)換(huan)，如果(guo)不及(ji)時(shi)更(geng)換(huan)會加重(zhong)機(ji)械泵的磨損，導致(zhi)無法抽真空，機(ji)械泵維修成(cheng)本(ben)會大(da)大(da)增加。

1.2.4 空(kong)調外掛(gua)機

     為(wei)保(bao)證(zheng)掃(sao)描(miao)電(dian)鏡和(he)能譜(pu)儀(yi)的(de)穩(wen)定(ding)性(xing)，掃(sao)描(miao)電(dian)鏡及(ji)附(fu)屬部(bu)件(jian)房間(jian)室(shi)溫(wen)均(jun)應(ying)控制為20℃，空調需要(yao)不間(jian)斷開(kai)啟(qi)，灰塵(chen)、飛(fei)絮(xu)極易(yi)在(zai)空(kong)調外機(ji)散熱(re)片上(shang)堆積(ji)。因(yin)此(ci)，為(wei)保(bao)證(zheng)設(she)備正常運(yun)行(xing)，要(yao)求對外機散熱(re)片定(ding)期進行清(qing)理(li)，尤其在(zai)春(chun)季柳(liu)絮(xu)漫(man)天(tian)的(de)時候，空調外機(ji)散熱(re)片極易(yi)堆積(ji)壹(yi)層厚(hou)厚的(de)柳(liu)絮(xu)，若不及(ji)時(shi)清(qing)理(li)，覆(fu)蓋的柳(liu)絮(xu)層不僅(jin)會影響(xiang)外機(ji)散(san)熱(re)效果(guo)，更(geng)嚴重(zhong)的會導致(zhi)空調損壞。