掃描電子(zi)顯微鏡由(you)三大(da)部分(fen)組(zu)成(cheng)：真空(kong)系(xi)統(tong)，電子(zi)束系(xi)統(tong)以(yi)及(ji)成(cheng)像系(xi)統(tong)。接下(xia)來(lai)就讓(rang)我們壹起來詳細(xi)的了(le)解壹(yi)下吧(ba)。
 

　　壹、真空(kong)系(xi)統(tong)
 

　　真(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)主(zhu)要(yao)包括真空(kong)泵(beng)和真空(kong)柱兩(liang)部分(fen)。真(zhen)空(kong)柱是(shi)壹個密(mi)封的柱形容器(qi)。
 

　　真空(kong)泵(beng)用來(lai)在真空(kong)柱內(nei)產生(sheng)真(zhen)空(kong)。有(you)機械(xie)泵(beng)、油擴散(san)泵(beng)以(yi)及(ji)渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)三(san)大(da)類，機械(xie)泵(beng)加油擴散(san)泵(beng)的(de)組(zu)合(he)可以(yi)滿足配(pei)置鎢槍的SEM的(de)真空要(yao)求，但(dan)對(dui)於裝(zhuang)置了(le)場致(zhi)發(fa)射(she)槍或(huo)六硼化鑭(lan)槍的(de)SEM，則需(xu)要(yao)機(ji)械(xie)泵(beng)加渦(wo)輪(lun)分(fen)子(zi)泵(beng)的(de)組(zu)合(he)。
 

　　成(cheng)像系(xi)統(tong)和電子(zi)束系(xi)統(tong)均(jun)內(nei)置在真空(kong)柱中。真(zhen)空(kong)柱底端(duan)即(ji)為(wei)右圖(tu)所(suo)示的(de)密(mi)封室，用於放置樣品(pin)。
 

　　之所(suo)以(yi)要用真(zhen)空，主(zhu)要(yao)基於以(yi)下兩(liang)點(dian)原(yuan)因：
 

　　電子(zi)束系(xi)統(tong)中(zhong)的(de)燈絲在普(pu)通大(da)氣中會(hui)迅速氧化而(er)失效，所(suo)以(yi)除了(le)在使用SEM時(shi)需(xu)要用真(zhen)空以(yi)外，平時(shi)還(hai)需(xu)要以(yi)純(chun)氮氣或(huo)惰性氣體充(chong)滿整(zheng)個真(zhen)空(kong)柱。
 

　　為(wei)了(le)增(zeng)大(da)電子(zi)的平均自(zi)由(you)程，從(cong)而(er)使得(de)用於成(cheng)像的電子(zi)更(geng)多。
 

　　二、電子(zi)束系(xi)統(tong)
 

　　電子(zi)束系(xi)統(tong)由(you)電子(zi)槍和電磁透(tou)鏡(jing)兩(liang)部分(fen)組(zu)成(cheng)，主要(yao)用於產生(sheng)壹(yi)束(shu)能(neng)量分(fen)布(bu)極(ji)窄(zhai)的、電子(zi)能(neng)量確定(ding)的(de)電子(zi)束用以(yi)掃描成(cheng)像。
 

　　電子(zi)槍
 

　　電子(zi)槍用於產生(sheng)電子(zi)，主要(yao)有(you)兩(liang)大(da)類，共(gong)三種。
 

　　壹類是(shi)利用場致(zhi)發(fa)射(she)效應產生(sheng)電子(zi)，稱為(wei)場致(zhi)發(fa)射(she)電子(zi)槍。這(zhe)種(zhong)電子(zi)槍極(ji)其昂(ang)貴(gui)，在十萬(wan)美(mei)元以(yi)上(shang)，且(qie)需要(yao)小(xiao)於10-10torr的*真(zhen)空。但(dan)它具有(you)至(zhi)少1000小(xiao)時(shi)以(yi)上(shang)的壽命(ming)，且(qie)不(bu)需要(yao)電磁透(tou)鏡(jing)系(xi)統(tong)。
 

　　另(ling)壹(yi)類則是(shi)利用熱(re)發(fa)射(she)效應產生(sheng)電子(zi)，有(you)鎢槍和六硼化鑭(lan)槍兩(liang)種(zhong)。鎢(wu)槍(qiang)壽命(ming)在30～100小(xiao)時(shi)之間(jian)，價格便(bian)宜(yi)，但(dan)成(cheng)像不(bu)如其他兩(liang)種(zhong)明(ming)亮(liang)，常(chang)作為(wei)廉價(jia)或(huo)標準SEM配(pei)置。六硼化鑭(lan)槍壽(shou)命(ming)介(jie)於場致(zhi)發(fa)射(she)電子(zi)槍與鎢槍(qiang)之間(jian)，為(wei)200～1000小(xiao)時(shi)，價(jia)格約為(wei)鎢槍(qiang)的(de)十(shi)倍(bei)，圖像比鎢槍(qiang)明(ming)亮(liang)5～10倍(bei)，需要(yao)略(lve)高於鎢槍(qiang)的真(zhen)空(kong)，壹(yi)般(ban)在10-7torr以(yi)上(shang);但比鎢(wu)槍(qiang)容易產生(sheng)過(guo)度飽和和熱(re)激(ji)發(fa)問(wen)題。
 

　　電磁透(tou)鏡(jing)
 

　　熱(re)發(fa)射(she)電子(zi)需要(yao)電磁透(tou)鏡(jing)來成(cheng)束，所(suo)以(yi)在用熱(re)發(fa)射(she)電子(zi)槍的(de)SEM上(shang)，電磁透(tou)鏡(jing)*。通常(chang)會(hui)裝(zhuang)配(pei)兩(liang)組(zu)：
 

　　匯(hui)聚(ju)透(tou)鏡(jing)：顧名思(si)義，匯(hui)聚(ju)透(tou)鏡(jing)用匯(hui)聚(ju)電子(zi)束，裝(zhuang)配(pei)在真空(kong)柱中，位(wei)於電子(zi)槍之下(xia)。通常(chang)不(bu)止壹個，並有(you)壹組(zu)匯(hui)聚(ju)光(guang)圈(quan)與之相(xiang)配(pei)。但(dan)匯(hui)聚(ju)透(tou)鏡(jing)僅僅用於匯(hui)聚(ju)電子(zi)束，與成(cheng)像會(hui)焦(jiao)無關。
 

　　物鏡：物鏡為(wei)真空(kong)柱中最下方(fang)的壹個電磁透(tou)鏡(jing)，它負責(ze)將(jiang)電子(zi)束的(de)焦(jiao)點匯(hui)聚(ju)到(dao)樣品(pin)表(biao)面。
 

　　三、成(cheng)像系(xi)統(tong)
 

　　電子(zi)經(jing)過壹(yi)系(xi)列(lie)電磁透(tou)鏡(jing)成(cheng)束後，打到(dao)樣品(pin)上(shang)與樣品(pin)相(xiang)互作用，會(hui)產生(sheng)次(ci)級電子(zi)、背散(san)射(she)電子(zi)、歐革電子(zi)以(yi)及(ji)X射(she)線等壹(yi)系(xi)列(lie)信號(hao)。所(suo)以(yi)需要(yao)不(bu)同(tong)的探(tan)測(ce)器(qi)譬如次級電子(zi)探(tan)測(ce)器(qi)、X射線能(neng)譜(pu)分(fen)析(xi)儀(yi)等來(lai)區(qu)分(fen)這(zhe)些(xie)信號(hao)以(yi)獲得(de)所(suo)需(xu)要的信息。雖(sui)然X射(she)線信號(hao)不(bu)能(neng)用於成(cheng)像，但習(xi)慣(guan)上(shang)，仍(reng)然將(jiang)X射線分(fen)析(xi)系(xi)統(tong)劃(hua)分(fen)到(dao)成(cheng)像系(xi)統(tong)中(zhong)。
 

　　有(you)些探(tan)測(ce)器(qi)造(zao)價(jia)昂(ang)貴(gui)，比如Robinsons式背(bei)散(san)射(she)電子(zi)探(tan)測(ce)器(qi)，這時(shi)，可(ke)以(yi)使用次(ci)級電子(zi)探(tan)測(ce)器(qi)代替(ti)，但需(xu)要(yao)設定(ding)壹(yi)個偏(pian)壓(ya)電場以(yi)篩(shai)除次(ci)級電子(zi)。