壓電(dian)陶瓷由於(yu)具有較大(da)的(de)力(li)電(dian)功(gong)能(neng)轉(zhuan)換率(lv)及良好的性能(neng)可(ke)調控(kong)性等(deng)特點(dian)在(zai)多層陶瓷驅(qu)動(dong)器、微位移(yi)器(qi)、換能器以及機敏(min)材料與器件(jian)等(deng)領域(yu)獲得了(le)廣(guang)泛的應(ying)用(yong)。
 

　　隨著現代(dai)技(ji)術(shu)的(de)發(fa)展(zhan)，鐵(tie)電(dian)和壓電(dian)陶瓷材(cai)料與器件(jian)正向(xiang)小(xiao)型(xing)化、集(ji)成(cheng)化、多(duo)功(gong)能(neng)化、智(zhi)能化、高(gao)性能(neng)和復(fu)合(he)結(jie)構(gou)發展，並(bing)在(zai)新型陶瓷材(cai)料的開發和研(yan)究中發(fa)揮(hui)重要作用。
 

　　鐵(tie)電(dian)疇(chou) (簡稱電(dian)疇(chou))是其(qi)物(wu)理(li)基礎(chu)，電(dian)疇(chou)的結(jie)構(gou)及疇(chou)變規律直(zhi)接(jie)決(jue)定了(le)鐵(tie)電(dian)體(ti)物(wu)理(li)性質(zhi)和應(ying)用(yong)方向(xiang)。
 

　　掃描電(dian)子顯(xian)微鏡是(shi)目(mu)前(qian)觀(guan)測(ce)電(dian)疇(chou)的主要方法，其(qi)優(you)點(dian)在(zai)於分(fen)辨率(lv)高，可(ke)直(zhi)接(jie)觀(guan)察(cha)電(dian)疇(chou)和疇(chou)壁的(de)顯(xian)微結(jie)構(gou)及相變的動(dong)態原(yuan)位(wei)觀(guan)察 (電(dian)疇(chou)壁的(de)遷(qian)移(yi))。
 

　　掃描電(dian)子顯(xian)微鏡觀(guan)測(ce)電(dian)疇(chou)是通(tong)過(guo)對樣品表面預先進行(xing)化學(xue)腐(fu)蝕來實(shi)現的(de)，由於(yu)不(bu)同(tong)極(ji)性的(de)疇(chou)被(bei)腐(fu)蝕的程(cheng)度(du)不(bu)壹樣，利用(yong)腐(fu)蝕劑可(ke)在(zai)鐵(tie)電(dian)體(ti)表面形(xing)成(cheng)凹(ao)凸(tu)不(bu)平(ping)的(de)區(qu)域(yu)從(cong)而(er)可(ke)在(zai)顯(xian)微鏡中(zhong)進行(xing)觀(guan)察。
 

　　因(yin)此(ci)，可(ke)以將樣品表面預先進行(xing)化學(xue)腐(fu)蝕後(hou)，利(li)用(yong)掃描電(dian)子顯(xian)微鏡圖(tu)像(xiang)中(zhong)的黑(hei)白襯(chen)度(du)來判(pan)斷不(bu)同(tong)取向(xiang)的(de)電(dian)疇(chou)結(jie)構(gou)。
 

　　對不(bu)同(tong)的(de)鐵(tie)電(dian)晶體(ti)選(xuan)擇合(he)適(shi)的(de)腐(fu)蝕劑種類、濃(nong)度(du)、腐(fu)蝕時間(jian)和溫(wen)度(du)都(dou)能(neng)顯(xian)示(shi)良好的疇(chou)圖(tu)樣。掃描電(dian)子顯(xian)微鏡 與(yu)其(qi)他設備(bei)的組合(he)以(yi)實(shi)現多(duo)種分(fen)析(xi)功(gong)能(neng)
 

　　在(zai)實際(ji)分(fen)析(xi)工(gong)作中，往(wang)往(wang)在(zai)獲得形(xing)貌(mao)放(fang)大(da)像(xiang)後(hou)，希(xi)望(wang)能在(zai)同壹臺儀器上(shang)進行(xing)原(yuan)位(wei)化學(xue)成(cheng)分(fen)或晶體(ti)結(jie)構(gou)分(fen)析(xi)，提供包(bao)括形(xing)貌、成(cheng)分(fen)、晶體(ti)結(jie)構(gou)或位向(xiang)在(zai)內(nei)的豐(feng)富(fu)資(zi)料，以便能(neng)夠(gou)更全(quan)面(mian)、客(ke)觀(guan)地(di)進行(xing)判(pan)斷分(fen)析(xi)。
 

　　為(wei)了(le)適(shi)應(ying)不(bu)同(tong)分(fen)析(xi)目(mu)的的要求，在(zai)掃描電(dian)子顯(xian)微鏡上(shang)相繼安(an)裝了(le)許多附(fu)件(jian)，實(shi)現了(le)壹機(ji)多用(yong)，成為壹種快(kuai)速(su)、直(zhi)觀(guan)、綜合(he)性分(fen)析(xi)儀器。把掃描電(dian)子顯(xian)微鏡應(ying)用(yong)範(fan)圍擴大(da)到(dao)各種顯(xian)微或微區(qu)分(fen)析(xi)方(fang)面，充分(fen)顯(xian)示(shi)了(le)掃描電(dian)鏡的(de)多(duo)種性能(neng)及廣(guang)泛的應(ying)用(yong)前(qian)景(jing)。
 

　　目(mu)前(qian)掃描電(dian)子顯(xian)微鏡的(de)最(zui)主要組合(he)分(fen)析(xi)功(gong)能(neng)有:X射線(xian)顯(xian)微分(fen)析(xi)系(xi)統(tong)(即(ji)能譜儀,EDS)，主要用於元素的定性和定量(liang)分(fen)析(xi)，並(bing)可(ke)分(fen)析(xi)樣品微區(qu)的化學(xue)成(cheng)分(fen)等(deng)信(xin)息(xi);
 

　　電(dian)子背散(san)射系(xi)統(tong) (即(ji)結(jie)晶(jing)學分(fen)析(xi)系(xi)統(tong))，主要用於晶體(ti)和礦(kuang)物(wu)的(de)研究。隨著現代(dai)技(ji)術(shu)的(de)發(fa)展(zhan)，其(qi)他壹些掃描電(dian)子顯(xian)微鏡組合(he)分(fen)析(xi)功(gong)能(neng)也相繼出(chu)現，例(li)如(ru)顯(xian)微熱臺和冷(leng)臺系(xi)統(tong)，主要用於觀察和分(fen)析(xi)材(cai)料在(zai)加熱(re)和冷(leng)凍過(guo)程(cheng)中微觀結(jie)構(gou)上的變化;
 

　　拉(la)伸臺系(xi)統(tong)，主要用於觀察和分(fen)析(xi)材(cai)料在(zai)受力(li)過(guo)程(cheng)中所(suo)發生(sheng)的微觀結(jie)構(gou)變化。掃描電(dian)子顯(xian)微鏡與(yu)其(qi)他設備(bei)組合(he)而(er)具有的新型分(fen)析(xi)功(gong)能(neng)為新材料、新工藝的(de)探(tan)索和研(yan)究起到(dao)重(zhong)要作用。