所(suo)謂(wei)的(de)微(wei)焦點X射線機(ji)是(shi)焦點尺寸可(ke)以達(da)到幾個微(wei)米(mi)，並且(qie)能(neng)夠在(zai)0～225kV或更(geng)高(gao)恒電(dian)壓(ya)模(mo)式(shi)下(xia)，以(yi)壹定的(de)功率(lv)(通(tong)常最(zui)高為(wei)320W)連(lian)續(xu)工(gong)作(zuo)的(de)X射線機(ji)。 微(wei)焦點X射線機(ji)的(de)焦點尺寸通(tong)常可(ke)以連(lian)續(xu)可(ke)調(tiao)，從幾(ji)微(wei)米(mi)直到0.2毫米(mi)或更(geng)高。
 

　　與(yu)常(chang)規(gui)X射線管相同，微(wei)焦點X射線管的(de)陽極(ji)也是(shi)用(yong)循環(huan)油(you)或(huo)水(shui)來(lai)冷(leng)卻(que)。 與常(chang)規(gui)X射線機(ji)不(bu)同(tong)的(de)是，用於無(wu)損檢(jian)測的(de)微(wei)焦點X射線管是用(yong)真空泵(beng)來(lai)維(wei)持X射(she)線管(guan)內的(de)真空度(約(yue)為(wei)10-7)。
 

　　微(wei)焦點X射線管可(ke)以很方便的(de)打開(即開放式(shi)或(huo)稱(cheng)為(wei)開管)，用(yong)來(lai)更(geng)換(huan)不(bu)同(tong)的(de)靶材(cai)以(yi)產生不(bu)同(tong)的(de)X射線頻譜(pu);更(geng)換(huan)不(bu)同(tong)形(xing)狀及大(da)小的(de)X射線窗(chuang)口;以(yi)及更(geng)換(huan)陽極(ji)的(de)類型… 如(ru)換(huan)上(shang)各(ge)種(zhong)直徑(jing)和(he)長度(du)的(de)棒陽極(ji)，以(yi)滿(man)足不(bu)同(tong)檢(jian)測任務的(de)需(xu)要(yao)。
 

　　這(zhe)些陽極(ji)棒(bang)的(de)長度可(ke)達(da)1500毫米(mi)，直徑(jing)可(ke)從18毫米(mi)壹直小(xiao)到4毫米(mi)。使用(yong)如此小的(de)棒陽極(ji)，我(wo)們可(ke)以用(yong)單(dan)壁(bi)內透照(zhao)方式(shi)，所(suo)未有(you)的(de)缺陷檢(jian)測靈敏度(du)進行射線(xian)檢(jian)測。
 

　　需(xu)要(yao)考(kao)慮(lv)的(de)是X射線束視(shi)場直徑(jing)或稱(cheng)錐(zhui)束角(jiao)。 進(jin)行微(wei)焦點X射線檢(jian)測，當焦距很近時，錐(zhui)束角(jiao)或(huo)視(shi)場範圍(wei)非常重要(yao)。例如，25°錐(zhui)角(jiao)的(de)微(wei)焦點X射線機(ji)的(de)曝(pu)光(guang)次(ci)數(shu)要(yao)小(xiao)於15°錐(zhui)角(jiao)的(de)微(wei)焦點X射線機(ji)在(zai)檢(jian)測相同範圍(wei)時的(de)曝(pu)光(guang)次(ci)數(shu)。
 

　　另壹個需(xu)要(yao)考(kao)慮(lv)的(de)是焦點到X射線(xian)管(guan)窗(chuang)口外表(biao)面的(de)距離，它(ta)決(jue)定(ding)了(le)被(bei)檢(jian)樣品(pin)到焦點的(de)最(zui)小距(ju)離。 這(zhe)壹參(can)數(shu)的(de)重要(yao)性(xing)在於它(ta)決(jue)定(ding)了(le)壹個微(wei)焦點系統可(ke)能(neng)達(da)到的(de)最(zui)大(da)放大(da)倍(bei)數(shu)。 由於防(fang)護設(she)施空間的(de)局限(xian)以(yi)及射線(xian)的(de)衰減與距離的(de)平方成(cheng)反比(I/R2 )，我(wo)們無(wu)法隨(sui)意拉長(chang)膠(jiao)片(pian)或探(tan)測(ce)器到射線(xian)源(yuan)的(de)距離以增大(da)放大(da)倍(bei)數(shu)。
 

　　在進行微(wei)焦點X射線檢(jian)測時有(you)壹個與常規(gui)X射線檢(jian)測很大(da)的(de)不(bu)同(tong)：我(wo)們通(tong)常不(bu)需(xu)要(yao)考(kao)慮(lv)圖(tu)像半(ban)影的(de)大(da)小，即通(tong)常不(bu)考(kao)慮(lv)幾(ji)何(he)不(bu)清晰(xi)度(du)的(de)影響(xiang)。原(yuan)因是當焦點尺寸足夠小(xiao)時，半(ban)影可(ke)以忽(hu)略不(bu)計。 因此我們可(ke)以在(zai)X射(she)線(xian)視場可(ke)接(jie)受的(de)情況下(xia)，盡可(ke)能(neng)減小被檢(jian)樣品(pin)到焦點的(de)距離。